Vakuum-Beschichtung: Bewegen und Halten in Dünnschicht-Anlagen
Vakuum-Beschichtungsanlagen für optische und elektronische Dünnschichten – etwa für Optoelektronik, Photonik, Sensorik oder Leistungshalbleiter – verlangen gleichmäßige, reproduzierbare Bewegungen. Ein integrierter MAC400-Servomotor, ServoStep-Motoren MIS231, MIS232 und MIS341 sowie MAB-Haltebremsen bewegen, positionieren und halten Substrate und Komponenten.
Anforderungen an die Antriebe
Gleichlauffür gleichmäßige Schichtdicken
Positioniergenauigkeitreproduzierbare Übergabe- und Prozesspositionen
Sicheres Haltenvertikale Achsen bei Stillstand und Spannungsausfall
Kompakt und vernetztviele Achsen, über PROFINET
Eingesetzte JVL-Komponenten
| MAC400 | 400 W · 1,27 / 3,8 Nm · 3.000 min⁻¹ · 115/230 V AC |
| MIS231 / MIS232 | ServoStep, NEMA 23 · 0,97 / 1,97 Nm · Closed Loop · bis 72 V DC |
| MIS341 | ServoStep, NEMA 34 · 6,1 Nm · bis 72 V DC |
| MAB23 / MAB34 | Haltebremsen 0,5 / 1,5 Nm bzw. 1,7 / 4,0 Nm · fail-safe · 24 V DC |
| Netzwerk | PROFINET |
Antriebsaufgaben
Typische Aufgabenverteilung in solchen Anlagen:
- Substratbewegung: MAC400 für gleichmäßigen Gleichlauf
- Handling und Positionierung: ServoStep-Motoren MIS231, MIS232 und MIS341
- Sicheres Halten vertikaler Achsen: Haltebremsen MAB23 und MAB34
Vorteile
- Präziser Gleichlauf – gleichmäßige Schichten, hohe Ausbeute
- Kein Schrittverlust – ServoStep im Closed Loop, präzise Übergaben
- Alles integriert – kompakte Achsen nahe an Kammer und Schleuse
- Ohne Referenzfahrt – Absolut-Encoder ohne Batterie
- Sicheres Halten – fail-safe-Bremsen bei Spannungsausfall
- Ein Lieferant – passender Antrieb für jede Achse
Fazit
Ein abgestimmtes Antriebspaket aus Servomotor, ServoStep-Motoren und Haltebremsen sorgt für stabile Prozesse und weniger Verkabelung – alles von einem Lieferanten.
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Tel: +49 7121 1377260 Fax: +49 7121 1377317 E-mail: sales@jvl.dk
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